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GOST 24392-80

GOST 33729-2016 GOST 20996.3-2016 GOST 31921-2012 GOST 33730-2016 GOST 12342-2015 GOST 19738-2015 GOST 28595-2015 GOST 28058-2015 GOST 20996.11-2015 GOST 9816.5-2014 GOST 20996.12-2014 GOST 20996.7-2014 GOST P 56306-2014 GOST P 56308-2014 GOST 20996.1-2014 GOST 20996.2-2014 GOST 20996.0-2014 GOST 16273.1-2014 GOST 9816.0-2014 GOST 9816.4-2014 GOST P 56142-2014 NORME D'ÉTAT P 54493-2011 GOST 13498-2010 NORME D'ÉTAT P 54335-2011 GOST 13462-2010 NORME D'ÉTAT P 54313-2011 NORME NATIONALE P 53372-2009 GOST P 53197-2008 GOST P 53196-2008 GOST P 52955-2008 GOST P 50429.9-92 GOST 6836-2002 GOST 6835-2002 GOST 18337-95 GOST 13637.9-93 GOST 13637.8-93 GOST 13637.7-93 GOST 13637.6-93 GOST 13637.5-93 GOST 13637.4-93 GOST 13637.3-93 GOST 13637.2-93 GOST 13637.1-93 GOST 13637.0-93 GOST 13099-2006 GOST 13098-2006 GOST 10297-94 GOST 12562.1-82 GOST 12564.2-83 GOST 16321.2-70 GOST 4658-73 GOST 12227.1-76 GOST 16274.0-77 GOST 16274.1-77 GOST 22519.5-77 GOST 22720.4-77 GOST 22519.4-77 GOST 22720.2-77 GOST 22519.6-77 GOST 13462-79 GOST 23862.24-79 GOST 23862.35-79 GOST 23862.15-79 GOST 23862.29-79 GOST 24392-80 GOST 20997.5-81 GOST 24977.1-81 GOST 25278.8-82 GOST 20996.11-82 GOST 25278.5-82 GOST 1367.7-83 GOST 26239.9-84 GOST 26473.1-85 GOST 16273.1-85 GOST 26473.2-85 GOST 26473.6-85 GOST 25278.15-87 GOST 12223.1-76 GOST 12645.7-77 GOST 12645.1-77 GOST 12645.6-77 GOST 22720.3-77 GOST 12645.4-77 GOST 22519.7-77 GOST 22519.2-77 GOST 22519.0-77 GOST 12645.5-77 GOST 22517-77 GOST 12645.2-77 GOST 16274.9-77 GOST 16274.5-77 GOST 22720.0-77 GOST 22519.3-77 GOST 12560.1-78 GOST 12558.1-78 GOST 12561.2-78 GOST 12228.2-78 GOST 18385.4-79 GOST 23862.30-79 GOST 18385.3-79 GOST 23862.6-79 GOST 23862.0-79 GOST 23685-79 GOST 23862.31-79 GOST 23862.18-79 GOST 23862.7-79 GOST 23862.1-79 GOST 23862.20-79 GOST 23862.26-79 GOST 23862.23-79 GOST 23862.33-79 GOST 23862.10-79 GOST 23862.8-79 GOST 23862.2-79 GOST 23862.9-79 GOST 23862.12-79 GOST 23862.13-79 GOST 23862.14-79 GOST 12225-80 GOST 16099-80 GOST 16153-80 GOST 20997.2-81 GOST 20997.3-81 GOST 24977.2-81 GOST 24977.3-81 GOST 20996.4-82 GOST 14338.2-82 GOST 25278.10-82 GOST 20996.7-82 GOST 25278.4-82 GOST 12556.1-82 GOST 14339.1-82 GOST 25278.9-82 GOST 25278.1-82 GOST 20996.9-82 GOST 12554.1-83 GOST 1367.4-83 GOST 12555.1-83 GOST 1367.6-83 GOST 1367.3-83 GOST 1367.9-83 GOST 1367.10-83 GOST 12554.2-83 GOST 26239.4-84 GOST 9816.2-84 GOST 26473.9-85 GOST 26473.0-85 GOST 12645.11-86 GOST 12645.12-86 GOST 8775.3-87 GOST 27973.0-88 GOST 18904.8-89 GOST 18904.6-89 GOST 18385.0-89 GOST 14339.5-91 GOST 14339.3-91 GOST 29103-91 GOST 16321.1-70 GOST 16883.2-71 GOST 16882.1-71 GOST 12223.0-76 GOST 12552.2-77 GOST 12645.3-77 GOST 16274.2-77 GOST 16274.10-77 GOST 12552.1-77 GOST 22720.1-77 GOST 16274.4-77 GOST 16274.7-77 GOST 12228.1-78 GOST 12561.1-78 GOST 12558.2-78 GOST 12224.1-78 GOST 23862.22-79 GOST 23862.21-79 GOST 23687.2-79 GOST 23862.25-79 GOST 23862.19-79 GOST 23862.4-79 GOST 18385.1-79 GOST 23687.1-79 GOST 23862.34-79 GOST 23862.17-79 GOST 23862.27-79 GOST 17614-80 GOST 12340-81 GOST 31291-2005 GOST 20997.1-81 GOST 20997.4-81 GOST 20996.2-82 GOST 12551.2-82 GOST 12559.1-82 GOST 1089-82 GOST 12550.1-82 GOST 20996.5-82 GOST 20996.3-82 GOST 12550.2-82 GOST 20996.8-82 GOST 14338.4-82 GOST 25278.12-82 GOST 25278.11-82 GOST 12551.1-82 GOST 25278.3-82 GOST 20996.6-82 GOST 25278.6-82 GOST 14338.1-82 GOST 14339.4-82 GOST 20996.10-82 GOST 20996.1-82 GOST 12645.9-83 GOST 12563.2-83 GOST 19709.1-83 GOST 1367.11-83 GOST 1367.0-83 GOST 19709.2-83 GOST 12645.0-83 GOST 12555.2-83 GOST 1367.1-83 GOST 9816.3-84 GOST 9816.4-84 GOST 9816.1-84 GOST 9816.0-84 GOST 26468-85 GOST 26473.11-85 GOST 26473.12-85 GOST 26473.5-85 GOST 26473.7-85 GOST 16273.0-85 GOST 26473.3-85 GOST 26473.8-85 GOST 26473.13-85 GOST 25278.13-87 GOST 25278.14-87 GOST 8775.1-87 GOST 25278.17-87 GOST 18904.1-89 GOST 18904.0-89 GOST P 51572-2000 GOST 14316-91 GOST P 51704-2001 GOST 16883.1-71 GOST 16882.2-71 GOST 16883.3-71 GOST 8774-75 GOST 12227.0-76 GOST 12797-77 GOST 16274.3-77 GOST 12553.1-77 GOST 12553.2-77 GOST 16274.6-77 GOST 22519.1-77 GOST 16274.8-77 GOST 12560.2-78 GOST 23862.11-79 GOST 23862.36-79 GOST 23862.3-79 GOST 23862.5-79 GOST 18385.2-79 GOST 23862.28-79 GOST 16100-79 GOST 23862.16-79 GOST 23862.32-79 GOST 20997.0-81 GOST 14339.2-82 GOST 12562.2-82 GOST 25278.7-82 GOST 20996.12-82 GOST 12645.8-82 GOST 20996.0-82 GOST 12556.2-82 GOST 25278.2-82 GOST 12564.1-83 GOST 1367.5-83 GOST 25948-83 GOST 1367.8-83 GOST 1367.2-83 GOST 12563.1-83 GOST 9816.5-84 GOST 26473.4-85 GOST 26473.10-85 GOST 12645.10-86 GOST 8775.2-87 GOST 25278.16-87 GOST 8775.0-87 GOST 8775.4-87 GOST 12645.13-87 GOST 27973.3-88 GOST 27973.1-88 GOST 27973.2-88 GOST 18385.6-89 GOST 18385.7-89 GOST 28058-89 GOST 18385.5-89 GOST 10928-90 GOST 14338.3-91 GOST 10298-79 GOST P 51784-2001 NORME GOUVERNEMENTALE 15527-2004 GOST 28595-90 GOST 28353.1-89 GOST 28353.0-89 GOST 28353.2-89 GOST 28353.3-89 NORME NATIONALE P 52599-2006

GOST 24392–80

NORME INTER-ÉTATS

SILICIUM ET GERMANIUM MONOCRISTALLINS

MESURE DE LA RÉSISTANCE ÉLECTRIQUE SPÉCIFIQUE PAR LA MÉTHODE À QUATRE SONDES

Édition officielle

BZ 10−99

NORMES DE PUBLICATION IPK Moscou

UDC 669.782/.783−172:621.317.33:006.354 Groupe B59

NORME INTER-ÉTATS

SILICIUM ET GERMANIUM MONOCRISTAUX ET CZE

GOST

I) mesure de la résistivité électrique 1 1

métal quatre zones 24392−80

Silicium monocristallin et germanium.

Mesure de la résistivité électrique par la méthode lour-sonde

OKSTU 1770

Date VVS.1SNMYA 01.01.81

La présente Norme internationale établit une méthode à quatre sondes pour mesurer la résistivité électrique sur une surface plane de lingots de silicium monocristallin et de germanium de type électronique ou trou de conductivité électrique dans la gamme des valeurs de résistivité électrique de MO -4 Ω cm à 1 10 * Ω cm.

La méthode est basée sur la mesure de la différence de potentiel entre deux sondes d'une tête de mesure à quatre sondes montée sur la surface d'une image contrôlée, tout en faisant passer un courant électrique d'une certaine valeur à travers deux autres sondes ponctuelles situées sur la même surface, et en calculant la résistivité électrique.

(Édition révisée, Rev. No. 2).

I. EQUIPEMENT ET MATERIELS

Le schéma fonctionnel de la configuration de mesure est représenté sur le dessin.

quatre

/ - quatre zones et voix d'identification : 2- source de pasyuki dont le pont :

3- instrument d'intention de tension électrique : 4- échantillon

L'installation de mesure doit être certifiée pour une erreur de mesure de la résistivité électrique ne dépassant pas 5 %.

1.1. La tête de mesure à quatre sondes avec quatre sondes linéairement espacées en carbure de tungstène doit répondre aux exigences indiquées dans le tableau. une.

Tableau 1

Valeur nominale de l'espacement cm Écart admissible entre les distances. % Force de serrage Zoil F. N Taille linéaire de la plate-forme de travail de la sonde, microns, pas plus
0,159
0,130 Onze 0,50−2,00 60
0,075
Édition officielle Réimpression interdite

© Maison d'édition des normes. 1980 £> Et P. K. Standards Publishing House . 2001

S. 2 GOST 24392–80

1.2. Une source de courant continu qui permet la création d'un courant électrique de polarité variable dans le circuit de mesure doit répondre aux exigences indiquées dans le tableau. 2. Tableau 2

La limite supérieure et la "résistance éléurique spécifique mesurée r. ohm cm Limite de courant haute /. MAIS Limite supérieure de la tension électrique mesurée V, V Résistance électrique d'entrée de l'appareil de mesure L m . Om, pas moins
3 1.010-' 2.1 10-1 1I0 3
1 10-g 1.010-' 2.1−10-3 MO 4
1−10-« 1.010' 2.1 10-3 1 10 1
1 10° 8.2 10~ 2 koyu-' LU 6
I10 1 8.2 10-3 1.010-' N0T
MO 2 8.2−10-4 1.010-' 110*
logiciel 3 8.2 10* 1.010-' 2−10*
LU* 8.2−10-6 1.010-' par 9

1.2.1. L'instabilité admissible du courant électrique pendant la mesure ne doit pas dépasser 0,5 %.

1.2.2. L'erreur de mesure de l'intensité du courant électrique n'est pas supérieure à 0,5%.

1.3. Un appareil de mesure de la tension électrique avec une erreur ne dépassant pas 1% doit être conforme aux exigences indiquées dans le tableau. 2.

1.4. La résistance d'isolement du circuit de mesure ne doit pas être inférieure à la résistance d'entrée de l'appareil de mesure.

1.5. Appareils et matériaux auxiliaires

Thermomètre avec une erreur de mesure ne dépassant pas 0,5 *C.

Matériaux abrasifs selon GOST 3647 .

Outils diamantés avec utilisation de poudres de diamant selon GOST 9206 .

Les poudres sont du diamant.

Papier filtre selon GOST 12026 .

Papier buvard.

Calico blanchi selon GOST 2929 S.

Matériel de nettoyage - emballage, tissu art. 6313 ou 6304.

Eau potable selon GOST 2874 *.

Alcool éthylique selon GOST 18300 .

Il est permis d'utiliser des outils et des matériaux qui ne sont pas inférieurs à ce qui précède en termes de caractéristiques et de qualité.

2. PREPARATION DES ECHANTILLONS ET CONDITIONS DE MESURE

2.1. Les mesures sont effectuées sur des surfaces planes avec un paramètre de rugosité R a selon GOST 2789 ne dépassant pas 2,5 µm. La mesure de la résistivité électrique du silicium de type p avec p supérieur à 10 J Ohm cm est effectuée sur des surfaces planes avec un paramètre de rugosité R. dans la plage (20

2.1. D Pour assurer la rugosité de surface requise, les figurines sont meulées avec des matériaux abrasifs ou des outils diamantés utilisant des poudres de diamant.

2.1.2. Après broyage, les échantillons sont lavés à l'eau potable courante ou à l'eau technique purifiée, séchés avec du papier filtre (buvard) ou d'autres matériaux et dégraissés à l'alcool.

2.2. Lors des mesures, la distance entre le bord (limite du plan) et la sonde la plus proche doit être d'au moins 4 / 0 , où / 0 est la valeur nominale de la distance intersonde.

2.3. Lors d'une mesure de résistivité électrique selon la génératrice du lingot, la largeur de la piste de mesure doit être d'au moins 6/0 .

2.4. Les mesures sont effectuées à une température fixe (23 ± 2) 'C. Les images contrôlées sont portées à la température à laquelle les mesures sont prises. Il est permis de mesurer

une

Sur le territoire de la Fédération de Russie, GOST R 51232-98 est valide.

GOST 24392–80 S. 3

à une température fixée avec une erreur de ± 0,5 'С dans la plage (23 ± 5) ° С, effectuer une correction de température des résultats de mesure conformément à l'application.

2.5. La mesure de la résistivité électrique du germanium avec p supérieur à 45 Ohmcm et du silicium avec p supérieur à 200 Ohmcm est effectuée lorsque l'échantillon est obscurci. Pour les autres gammes de résistance électrique spécifique, l'éclairage des échantillons avec une lumière diffusée n'est pas autorisé à plus de 500 lux.

3. MESURE ET TRAITEMENT DES RÉSULTATS

3.1. Sur la surface de l'échantillon installé dans le support, les sondes de la tête de mesure sont abaissées en douceur perpendiculairement à la surface.

3.2. Un courant électrique / est passé à travers l'échantillon et la valeur de la différence de potentiel entre les sondes de potentiel interne est mesurée à deux polarités du courant électrique. La moyenne arithmétique des valeurs obtenues est prise comme résultat de la mesure de la différence de potentiel U. La valeur du courant électrique est réglée conformément aux exigences du tableau. 2.

3.3. Calculer la valeur de la résistivité électrique p, Ohm cm, selon la formule (1)

où U est la valeur de la différence de potentiel. À:

/ - la valeur du courant électrique auquel les mesures ont été effectuées. L;

/, ff est la valeur effective de la distance intersonde calculée par la formule (2)

(2)

où /, / 2 , / 3 sont les distances entre les première et deuxième, deuxième et troisième, troisième et quatrième sondes

respectivement.

Lors de l'utilisation d'une tête à quatre sondes, dans laquelle l'écart de la distance entre sondes par rapport à la valeur nominale / 0 ne dépasse pas ± 1 %, la valeur / = / 0 est remplacée dans la formule (2).

3.4. Il est permis d'effectuer des mesures et de traiter les résultats à l'aide d'outils d'automatisation conformément à l'algorithme défini dans la présente norme.

Seconde. 1−3. (Édition révisée, Rev. No. 2).

4. PRESENTATION DES RESULTATS DES MESURES ET NORMES DES INDICATEURS DE PRECISION

4.1. Le résultat de la mesure de la résistance électrique spécifique est la valeur calculée par la formule (I).

4.2. La composante aléatoire de l'erreur de mesure de la résistivité électrique, qui caractérise la scalabilité des résultats de mesure, ne dépasse pas ± 2 % à un niveau de confiance P = 0,95.

4.3. L'erreur de mesure totale ne dépasse pas ± 5 % lors du test d'échantillons avec р<10 3 Ω cm et ne dépasse pas ± 8 % lors du test d'échantillons avec une résistivité électrique supérieure à 10 3 Ω cm à un niveau de confiance P = 0,95.

4.4. Le résultat de la mesure de résistivité électrique est un nombre à trois chiffres si le premier chiffre est 1, 2, 3 et un nombre à deux chiffres si le premier chiffre est supérieur à 3.

Seconde. 4. (Introduit en plus. Amendement n° 2).

S. 4 GOST 24392–80

ANNEXE

Obligatoire

Le résultat de la mesure de la résistivité électrique conduit à une température ^ = 23 'C selon la formule

Rg (3)

0 *! - DE (/-%)'

où p, est la résistivité électrique. ohm cm;

C - coefficient de température (tableaux 1, 2);

/ - température nominale dans la plage (23 ± 5) 4 C ; p, est la résistivité électrique à 23°C. g *

Le résultat de la mesure de la résistivité électrique peut être réduit à n'importe quelle température nominale dans la plage (23 ± 5) "C.

Tableau I

Coefficient de température pour le silicium Résistivité électrique d'Isherpal

sur

Avec

P

dans

0,0001 -0,004 0,004 - 0,04 0,04−0,1 0,1−1,0 1.0−10.0 10.0−10000

type l,

1/degré

 0,002 0,001 0,004 0,006 0,008 0,008

type p

1/degré

 0,001 0,001 0,003 0,006 0,008 0,009

Tablette 2

Tsmier : violet co >ffiiien ■ pour l'Allemagne Résistance électrique spécifique Isherpal. ohm cm
0,0001−0,001 0,001−0,01 0,01−0,1 0,1−1,0 1,0−10 10−100
type i, 1/deg 0,002 0,001 0,004 0,006 0,006 0,006
type p, 1/deg 0,002 0,002 0,004 0,007 0,008 0,008

ANNEXE. (Édition révisée, Rev. No. 2).

GOST 24392–80 S. 5

INFORMATIONS DONNÉES

1. DÉVELOPPÉ ET INTRODUIT par le Ministère de la Métallurgie de l'URSS

2. APPROUVÉ ET INTRODUIT PAR Décret du Comité d'État de l'URSS pour les normes n° 4705 du 15 septembre 1980

3. GOST 24392-80 correspond à ST SEV 1250-78

4. INTRODUIT POUR LA PREMIÈRE FOIS

5. RÉGLEMENTATION DE RÉFÉRENCE ET DOCUMENTS TECHNIQUES

Obosachems NTD. auquel le lien est donné Numéro d'article Obshachenme NTD. nm quel lien lama Numéro d'article
GOST 2789–73 2.1 GOST 12026–76 1.5
GOST 2874–82 1.5 GOST 18300–87 1.5
GOST 3647–80 1.5 GOST 29298–92 1.5
GOST 9206–80 1.5

6. La limitation de la durée de validité a été supprimée en vertu du protocole) 'n° 5−94 du Conseil interétatique, mais normalisation. métrologie et certification (MUS 11-12-94)

7. ÉDITION (mars 2001) avec modifications n° I, 2, approuvées en mai 1985, juin 1990 (IUS 8-85, 10-90)

Éditeur T. P. Shashipa Éditeur technique L. L. Gusgsha Relecteur V. E. Nesterova Épreuvage informatique L.A. Circulaire

Au dessus. personnes. N : 1)2354 du 1-1.07.2000. Remis à l'ensemble le 04/10/2001 . Signé pour publication le 20.04.2001 . Uél. four l. 0,93.

Uch.*itl. JE. 0,50. Circulation 117 sem. À partir de 816. Loi. 455.

Maison d'édition des normes IPK 107076. Moscou. Eh bien voie… 14.

Naordio et maison d'édition sur PC Direction des normes IPK Et tdatslstvo - type. Imprimeur de Moscou*. 103062. Moscou. Voie Lyalin… 6.

Plr 0S0I02