Cible de molybdène
Pertinence
Les cibles de pulvérisation en molybdène se caractérisent par leur résistance mécanique, leur réfractarité et leur résistance à la corrosion. Les cibles en molybdène sont indestructibles dans les milieux liquides et gazeux agressifs, ont un module d'élasticité élevé et un coefficient de dilatation linéaire thermique négligeable. Ces avantages permettent d'utiliser des cibles en molybdène dans les conditions technologiques les plus exigeantes et les plus difficiles. Les cibles de pulvérisation en molybdène sont presque deux fois plus légères que les cibles en tungstène, de sorte que les produits en molybdène ont une résistance spécifique élevée (à une température ne dépassant pas 1370 °C). Pratiquement, le seul inconvénient est le coût élevé de la cible de molybdène, car le molybdène est un métal du groupe des terres rares et il est difficile de l'isoler sous forme pure. En outre, il est réfractaire et difficile à travailler.
Propriétés physiques
| Description de la cible | Identification |
|---|---|
| Température à laquelle les caractéristiques spécifiées sont obtenues t° C | 20°С |
| Densité [g/cm3] | 10,2 |
| Coefficient de dilatation thermique linéaire α [1/°C] |
4,9x10-6 |
| Point de fusion t°C | 2620°С |
| Capacité thermique spécifique (t° 20°C) C [kJ/(kg-C)] | 0,256 |
| Conductivité thermique K [W/(m-K) | 142 |
| Résistivité électrique R Ohmxmm2/m | 0,054 |
Propriétés chimiques
Le molybdène réagit avec les acides chlorhydrique et sulfurique uniquement à une température de 80-100°C. L'acide nitrique, l'eau régale ne dissolvent le molybdène qu'à 100°C. Il est stable dans les solutions alcalines froides, mais le molybdène est lentement détruit dans les solutions alcalines chaudes. Les impuretés de carbone, d'oxygène, de silicium, d'aluminium, d'azote, de fer, de soufre et de calcium, de phosphore contenues dans le molybdène technique en centièmes ou centièmes de pour cent, affectent de manière significative les propriétés du molybdène. La plupart de ces impuretés rendent le molybdène plus fragile. La plus nocive de toutes les impuretés est l'oxygène. S'il est contenu à 0,0008-0,004 pour cent, les oxydes fusibles peuvent entraîner une forte augmentation de sa fragilisation et une diminution des propriétés de déformation plastique, surtout en présence simultanée de carbone et d'azote. Si le pourcentage d'oxygène augmente au-delà de 0,015 %, le molybdène ne pourra plus être travaillé par pression et deviendra cassant.
Fabrication
Les cibles de molybdène pulvérisables sont produites sous forme de plaques plates, de disques et de tubes par faisceau d'électrons et par fusion par zone. Les cibles de pulvérisation de molybdène peuvent être fabriquées dans n'importe quelle configuration avec des tolérances et des dimensions, conformément aux dessins du client.
Cibles de molybdène pulvérisables
MCVP, OSM, TCM3, TCM4, 58.8 ; 4604 ; 4605, TCM30, TCM3, TCM1, TCM5, TCM6, MLT, VM2, VM1, VM3, MR-10, MR47VP
Nuances d'alliages étrangers (USA)
Mo, TZC, TM, TZM, Mo-50Re, WM.
Dimensions maximales des cibles plates en molybdène, en mm :
- cibles rectangulaires : 400x1550 ;
- cibles en forme de disque, 630 de diamètre ;
Utilisation des cibles de molybdène pulvérisables
Les cibles de molybdène sont utilisées pour déposer des couches minces sur les verres d'instruments optiques, les panneaux solaires
Furnizor
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