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GOST 26239.9-84

GOST 33729-2016 GOST 20996.3-2016 GOST 31921-2012 GOST 33730-2016 GOST 12342-2015 GOST 19738-2015 GOST 28595-2015 GOST 28058-2015 GOST 20996.11-2015 GOST 9816.5-2014 GOST 20996.12-2014 GOST 20996.7-2014 GOST P 56306-2014 GOST P 56308-2014 GOST 20996.1-2014 GOST 20996.2-2014 GOST 20996.0-2014 GOST 16273.1-2014 GOST 9816.0-2014 GOST 9816.4-2014 GOST P 56142-2014 NORME D'ÉTAT P 54493-2011 GOST 13498-2010 NORME D'ÉTAT P 54335-2011 GOST 13462-2010 NORME D'ÉTAT P 54313-2011 NORME NATIONALE P 53372-2009 GOST P 53197-2008 GOST P 53196-2008 GOST P 52955-2008 GOST P 50429.9-92 GOST 6836-2002 GOST 6835-2002 GOST 18337-95 GOST 13637.9-93 GOST 13637.8-93 GOST 13637.7-93 GOST 13637.6-93 GOST 13637.5-93 GOST 13637.4-93 GOST 13637.3-93 GOST 13637.2-93 GOST 13637.1-93 GOST 13637.0-93 GOST 13099-2006 GOST 13098-2006 GOST 10297-94 GOST 12562.1-82 GOST 12564.2-83 GOST 16321.2-70 GOST 4658-73 GOST 12227.1-76 GOST 16274.0-77 GOST 16274.1-77 GOST 22519.5-77 GOST 22720.4-77 GOST 22519.4-77 GOST 22720.2-77 GOST 22519.6-77 GOST 13462-79 GOST 23862.24-79 GOST 23862.35-79 GOST 23862.15-79 GOST 23862.29-79 GOST 24392-80 GOST 20997.5-81 GOST 24977.1-81 GOST 25278.8-82 GOST 20996.11-82 GOST 25278.5-82 GOST 1367.7-83 GOST 26239.9-84 GOST 26473.1-85 GOST 16273.1-85 GOST 26473.2-85 GOST 26473.6-85 GOST 25278.15-87 GOST 12223.1-76 GOST 12645.7-77 GOST 12645.1-77 GOST 12645.6-77 GOST 22720.3-77 GOST 12645.4-77 GOST 22519.7-77 GOST 22519.2-77 GOST 22519.0-77 GOST 12645.5-77 GOST 22517-77 GOST 12645.2-77 GOST 16274.9-77 GOST 16274.5-77 GOST 22720.0-77 GOST 22519.3-77 GOST 12560.1-78 GOST 12558.1-78 GOST 12561.2-78 GOST 12228.2-78 GOST 18385.4-79 GOST 23862.30-79 GOST 18385.3-79 GOST 23862.6-79 GOST 23862.0-79 GOST 23685-79 GOST 23862.31-79 GOST 23862.18-79 GOST 23862.7-79 GOST 23862.1-79 GOST 23862.20-79 GOST 23862.26-79 GOST 23862.23-79 GOST 23862.33-79 GOST 23862.10-79 GOST 23862.8-79 GOST 23862.2-79 GOST 23862.9-79 GOST 23862.12-79 GOST 23862.13-79 GOST 23862.14-79 GOST 12225-80 GOST 16099-80 GOST 16153-80 GOST 20997.2-81 GOST 20997.3-81 GOST 24977.2-81 GOST 24977.3-81 GOST 20996.4-82 GOST 14338.2-82 GOST 25278.10-82 GOST 20996.7-82 GOST 25278.4-82 GOST 12556.1-82 GOST 14339.1-82 GOST 25278.9-82 GOST 25278.1-82 GOST 20996.9-82 GOST 12554.1-83 GOST 1367.4-83 GOST 12555.1-83 GOST 1367.6-83 GOST 1367.3-83 GOST 1367.9-83 GOST 1367.10-83 GOST 12554.2-83 GOST 26239.4-84 GOST 9816.2-84 GOST 26473.9-85 GOST 26473.0-85 GOST 12645.11-86 GOST 12645.12-86 GOST 8775.3-87 GOST 27973.0-88 GOST 18904.8-89 GOST 18904.6-89 GOST 18385.0-89 GOST 14339.5-91 GOST 14339.3-91 GOST 29103-91 GOST 16321.1-70 GOST 16883.2-71 GOST 16882.1-71 GOST 12223.0-76 GOST 12552.2-77 GOST 12645.3-77 GOST 16274.2-77 GOST 16274.10-77 GOST 12552.1-77 GOST 22720.1-77 GOST 16274.4-77 GOST 16274.7-77 GOST 12228.1-78 GOST 12561.1-78 GOST 12558.2-78 GOST 12224.1-78 GOST 23862.22-79 GOST 23862.21-79 GOST 23687.2-79 GOST 23862.25-79 GOST 23862.19-79 GOST 23862.4-79 GOST 18385.1-79 GOST 23687.1-79 GOST 23862.34-79 GOST 23862.17-79 GOST 23862.27-79 GOST 17614-80 GOST 12340-81 GOST 31291-2005 GOST 20997.1-81 GOST 20997.4-81 GOST 20996.2-82 GOST 12551.2-82 GOST 12559.1-82 GOST 1089-82 GOST 12550.1-82 GOST 20996.5-82 GOST 20996.3-82 GOST 12550.2-82 GOST 20996.8-82 GOST 14338.4-82 GOST 25278.12-82 GOST 25278.11-82 GOST 12551.1-82 GOST 25278.3-82 GOST 20996.6-82 GOST 25278.6-82 GOST 14338.1-82 GOST 14339.4-82 GOST 20996.10-82 GOST 20996.1-82 GOST 12645.9-83 GOST 12563.2-83 GOST 19709.1-83 GOST 1367.11-83 GOST 1367.0-83 GOST 19709.2-83 GOST 12645.0-83 GOST 12555.2-83 GOST 1367.1-83 GOST 9816.3-84 GOST 9816.4-84 GOST 9816.1-84 GOST 9816.0-84 GOST 26468-85 GOST 26473.11-85 GOST 26473.12-85 GOST 26473.5-85 GOST 26473.7-85 GOST 16273.0-85 GOST 26473.3-85 GOST 26473.8-85 GOST 26473.13-85 GOST 25278.13-87 GOST 25278.14-87 GOST 8775.1-87 GOST 25278.17-87 GOST 18904.1-89 GOST 18904.0-89 GOST P 51572-2000 GOST 14316-91 GOST P 51704-2001 GOST 16883.1-71 GOST 16882.2-71 GOST 16883.3-71 GOST 8774-75 GOST 12227.0-76 GOST 12797-77 GOST 16274.3-77 GOST 12553.1-77 GOST 12553.2-77 GOST 16274.6-77 GOST 22519.1-77 GOST 16274.8-77 GOST 12560.2-78 GOST 23862.11-79 GOST 23862.36-79 GOST 23862.3-79 GOST 23862.5-79 GOST 18385.2-79 GOST 23862.28-79 GOST 16100-79 GOST 23862.16-79 GOST 23862.32-79 GOST 20997.0-81 GOST 14339.2-82 GOST 12562.2-82 GOST 25278.7-82 GOST 20996.12-82 GOST 12645.8-82 GOST 20996.0-82 GOST 12556.2-82 GOST 25278.2-82 GOST 12564.1-83 GOST 1367.5-83 GOST 25948-83 GOST 1367.8-83 GOST 1367.2-83 GOST 12563.1-83 GOST 9816.5-84 GOST 26473.4-85 GOST 26473.10-85 GOST 12645.10-86 GOST 8775.2-87 GOST 25278.16-87 GOST 8775.0-87 GOST 8775.4-87 GOST 12645.13-87 GOST 27973.3-88 GOST 27973.1-88 GOST 27973.2-88 GOST 18385.6-89 GOST 18385.7-89 GOST 28058-89 GOST 18385.5-89 GOST 10928-90 GOST 14338.3-91 GOST 10298-79 GOST P 51784-2001 NORME GOUVERNEMENTALE 15527-2004 GOST 28595-90 GOST 28353.1-89 GOST 28353.0-89 GOST 28353.2-89 GOST 28353.3-89 NORME NATIONALE P 52599-2006

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)


GOST 26239.9−84

Groupe B59


NORME D'ÉTAT DE L'UNION DE LA SSR

TRICHLOROSILANE

Méthode de dosage du chlorure de méthyle, du chlorure d'éthyle, du butane, de l'isobutane, du chlorure de méthylène, du chloroforme, du tétrachlorure de carbone, du méthyldichlorosilane, du méthyltrichlorosilane, du chlorométhylméthylsilane

trichlorsilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, du chlorure d'éthyle, du butane, de l'isobutane, du méthylène, du chloroforme, du tétrachlorure de carbone, du méthyltrichlorsilane, du chlorométhylméthylsilane



OKSTU 1709

Date de lancement 1986-01-01


Décret du Comité d'État pour les normes de l'URSS du 13 juillet 1984 N 2491*, la période de validité est fixée du 01/01/86 au 01/01/91**
__________________
* Voir l'étiquette Remarques ;
** La limitation de la période de validité a été supprimée conformément au protocole N 7-95 du Conseil inter-États pour la normalisation, la métrologie et la certification (IUS N 11, 1995). — Note du fabricant de la base de données.

INTRODUIT Amendement n ° 1, approuvé et mis en vigueur le 01.01.91 par résolution de la norme d'État de l'URSS du 26.06.90 N 1848

Le changement N 1 a été effectué par le fabricant de la base de données selon le texte de IUS N 10, 1990


La présente Norme internationale spécifie une méthode de chromatographie en phase gazeuse pour le dosage des composants du trichlorosilane dans les gammes suivantes de fractions massiques

chlorure de méthyle

de 3 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

butane

de 1 à 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

isobutane

de 1 à 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

chlorure d'éthyle

de 2 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

le chlorure de méthylène

de 1 à 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

chloroforme

de 1 à 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

le tétrachlorure de carbone

de 2 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

méthyldichlorosilane

de 4 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

chlorométhylméthylsilane

de 5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1%

méthyltrichlorosilane

de 2 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) jusqu'à 1 %.


La méthode est basée sur la séparation des composants du mélange lorsqu'ils se déplacent dans le flux de gaz porteur le long du sorbant, suivie d'un enregistrement du chromatogramme à l'aide d'un détecteur à ionisation de flamme.

La fraction massique des composants est calculée à partir des aires des pics du chromatogramme.

1. EXIGENCES GÉNÉRALES

1.1. Exigences générales pour la méthode d'analyse - selon GOST 26239 .0-84.

1.2. Hauteur GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) le pic chromatographique doit être mesuré avec une erreur ne dépassant pas 1 mm, et la largeur à mi-hauteur GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) - avec une erreur ne dépassant pas 0,5 mm.

2. ÉQUIPEMENT, MATÉRIEL ET RÉACTIFS


Chromatographe "Tsvet-102" avec un détecteur de conductivité thermique, un détecteur de flamme à ionisation, avec un système de séchage de gaz porteur 13, un système d'évent sous vide 9, un piège cryogénique 10, une pompe à vide 11 et des robinets en verre et en fluoroplaste 3, 4 ( Fig. 1) .

Le chromatographe est constitué de blocs séparés qui ne sont pas structurellement interconnectés. Les relations fonctionnelles du chromatographe sont illustrées à la figure 1.

Merde.1. Schéma fonctionnel de la configuration chromatographique

Schéma fonctionnel de la configuration chromatographique

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)


1 - bloc de préparation chromatographique BPH-1 ; 2 — thermostat du détecteur de conductivité thermique ; 3, 4 - robinets en verre et fluoroplaste; 5 - bloc d'alimentation du détecteur de flamme à ionisation BPD-19 : 6 - détecteur de flamme à ionisation ; 7 - compteur de courant faible IMT-05 ; 8, 19 - potentiomètres automatiques KSP-4; 9 - système d'aspiration sous vide ; 10 - piège cryogénique ; 11 - pompe à vide ; 12 - vase Dewar ; 13 - système de déshydratation du gaz porteur ; 14 - colonne chromatographique ; 15 - thermostat de la colonne chromatographique ; 16 - thermostat régulateur de température de la colonne chromatographique RT-09 ; 17 - régulateur de température du thermostat du détecteur par conductivité thermique RT-17 ; 18 - bloc d'alimentation du détecteur de conductivité thermique BPK-20 ; 20 - détecteur de conductivité thermique ; 21 - cylindre d'argon avec réducteur; 22 - bouteille d'hydrogène avec réducteur; 23 — un cylindre à air avec un réducteur (les parties 1, 2, 5, 6−8, 15−20 forment le chromatographe Tsvet-102).


Merde.1



Les contrôleurs de température des thermostats de la colonne chromatographique et le détecteur de conductivité thermique RT-09 et RT-17 16, 17 (Fig. 1) règlent et stabilisent automatiquement la température requise dans les thermostats. La plage de température de fonctionnement des régulateurs est divisée en quatre sous-gammes : 0-100, 100-200, 200-300, 300-400 °C, ce qui correspond à quatre positions de commutateur en face avant des appareils, repérées 0, 100, 200, 300, respectivement. Sur le panneau avant des unités, il y a un potentiomètre avec un cadran, qui sert à régler avec précision la température de consigne dans chaque sous-gamme et a une échelle de 0 à 100 °C. La température de consigne est déterminée en additionnant les positions de l'interrupteur et de l'échelle sur le cadran du potentiomètre. Pour allumer les unités, il est nécessaire de déplacer les boutons marqués "power" et "heater" situés sur le panneau avant des unités en position "on" (la position "on" - le bouton est enfoncé, le bouton "off " position - le bouton est enfoncé).

Le bloc d'alimentation du détecteur de flamme à ionisation BPD-19 5 (Fig. 1) alimente le détecteur de flamme à ionisation 6 (Fig. 1), contrôle la température dans les thermostats et l'évaporateur, règle et stabilise automatiquement l'évaporateur Température.

La température de l'évaporateur est réglée à l'aide d'un potentiomètre à cadran situé sur le panneau avant de l'unité. Le bloc est allumé par les boutons marqués "secteur" et "alimentation du détecteur".

Le petit ampèremètre IMT-05 7 (Fig. 1) est utilisé pour amplifier les signaux du détecteur de flamme à ionisation 6 (Fig. 1) et les signaux de sortie vers le potentiomètre automatique KSP-4 8 (Fig. 1). Le petit ampèremètre IMT-05 est mis en marche par les boutons "réseau" et "compensation" situés sur le panneau avant de l'appareil. Lors d'une mesure au niveau de courants de fond élevés, avant d'appliquer un signal (injection d'un échantillon), il est nécessaire de compenser le courant de fond avec le bouton "compensation".

Le bloc d'alimentation du détecteur de conductivité thermique BPK-20 18 (Fig. 1) alimente le détecteur en conductivité thermique 20 (Fig. 1), les limites de mesure du signal du détecteur sont définies et un signal est émis vers le potentiomètre automatique KSP- 4 19 (Fig. 1). Allumez l'alimentation électrique du détecteur de conductivité thermique, en vous assurant qu'il y a un flux de gaz vecteur à travers le détecteur, en utilisant le bouton "power". Dans ce cas, les boutons de réglage du courant "grossier" et "lisse" situés sur le panneau avant de l'appareil doivent être dans la position la plus à gauche. Après avoir allumé l'appareil, réglez le courant d'alimentation du détecteur à l'aide des boutons de « réglage du courant ». Les limites de mesure sont réglées à l'aide d'un interrupteur marqué "multiplicateur d'échelle".

Les blocs sont reliés entre eux et aux thermostats à l'aide de câbles inclus dans le jeu de pièces de rechange et d'accessoires (SPTA) du chromatographe.

Avant d'installer la partie gaz de l'unité chromatographique, des vannes en verre et en fluoroplastique (Fig. 2), un piège cryogénique (Fig. 3), un système de dérivation du système d'entrée de vide (Fig. 4), un système de séchage du gaz vecteur (Fig. . 5), une colonne chromatographique sont préparées (Fig. 6), ainsi que préparer le sorbant et remplir la colonne chromatographique avec celui-ci.

Pour préparer le sorbant, 100 cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) chlorure de méthylène et y dissoudre 3 g de caoutchouc polyméthylsiloxane SE-30 (ou E-301). Ensuite, 20 g de chromaton N-AW avec des tailles de grains de 0,200 à 0,250 mm sont versés dans la solution. Pour éliminer le solvant du mélange résultant, un faible courant d'air (25 à 50 cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) /min) et agité périodiquement avec une tige de verre. Le sorbant fini doit avoir une bonne fluidité et aucune odeur de solvant.

Avant de remplir la colonne chromatographique avec un sorbant, un bouchon en laine de verre est inséré à l'une des extrémités de la colonne. Pour éviter que le liège et le sorbant ne soient soufflés hors de la colonne pendant le remplissage et lors de l'opération ultérieure, le tube est rétréci à l'aide d'un brûleur pour le soudage au banc du verre - une constriction est réalisée. Cette extrémité de la colonne est reliée à une pompe à vide, et le sorbant est versé à l'autre extrémité par un entonnoir. Farcir la colonne, si possible, plus dense. Après remplissage de la colonne, des bouchons de laine de verre sont insérés dans la deuxième extrémité de la colonne.

L'installation de la partie gaz de l'installation chromatographique commence par l'unité de préparation chromatographique BPH-1 1 (Fig. 1), à l'aide de laquelle l'installation, la régulation et la stabilisation des débits du gaz vecteur (argon), de l'hydrogène et l'air est effectué. Pour ce faire, la bouteille à argon est reliée à l'entrée 13* du bloc, la bouteille à air - à l'entrée 15* et la bouteille à hydrogène - à l'entrée 9*. Les sorties 1* d'hydrogène et 3* d'air sont reliées à l'entrée de la cellule de travail du détecteur de flamme à ionisation, et le gaz porteur (argon) de la sortie du bloc 6* est relié à la première chambre du détecteur par conductivité thermique. Les connexions sont réalisées avec des tubes en polyéthylène disponibles dans le kit de pièces détachées du chromatographe.
______________
* Les numéros correspondent aux marquages sur le panneau arrière de l'unité BPH-1.

La partie gaz de l'installation chromatographique depuis le système de séchage jusqu'au détecteur de flamme à ionisation est constituée d'un bac plein, utilisant des tubes en verre molybdène et des robinets en verre et fluoroplaste (Figs. 1 et 4). Dans le même temps, l'extrémité de la colonne chromatographique avec un rétrécissement est transformée en sortie, la jauge à vide 2 (Fig. 4) est connectée au système de vide de l'entrée à l'aide de la transition Kovar-verre 3 (Fig. 4).

La connexion du détecteur de conductivité thermique avec des tubes en verre est réalisée à l'aide de transitions métal-verre, qui sont disponibles dans le kit de pièces de rechange du chromatographe.

Merde.2. Robinet en verre et PTFE

Robinet en verre et PTFE

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)


Un stock; b - tête; c - douille; g - contre-écrou; e - le corps de la grue ; f - schéma d'assemblage (pièces a, b, c, d - fluoroplaste-4, pièce e - verre de molybdène)


Merde.2

Merde.3. Piège cryogénique (verre molybdène)

Piège cryogénique (verre molybdène)

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)


Merde.3

Merde.4. Système de vide


Système de vide

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)


1 - ampoule avec l'échantillon analysé ; 2 - vacuomètre ; 3 — transition kovar-verre; 4 - ampoule avec un échantillon de référence ; 5, 6, 7, 8, 10 - robinets en verre et fluoroplaste; 9 - volume de dosage (les pièces 6, 7, 8, 10 constituent le système de dérivation)


Merde.4

Merde.5. Système de séchage du gaz vecteur

Système de séchage du gaz vecteur

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)


1, 2, 3 - robinets en verre et fluoroplaste; 4 - piège (verre au molybdène); 5 - oxyde de cuivre réduit (granulé); 6 - Filtre en tissu Petryanov


Merde.5

Merde.6. Colonne de chromatographie (verre molybdène)

Colonne de chromatographie (verre molybdène)

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)


Merde.6



Le système d'admission de vide (Fig. 4) est relié par des tuyaux de vide à une pompe à vide. Pour empêcher les vapeurs de trichlorosilane de pénétrer dans la pompe à vide, un piège cryogénique 10 (Fig. 1) refroidi par de l'azote liquide est placé entre la pompe et le système d'aspiration.

Après le montage de la partie gaz de l'installation chromatographique, les débits de gaz sont fixés, qui doivent être : gaz porteur (argon) - (35 ± 2) cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) /min, hydrogène - 30 cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) /min, air — (300±20) cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) /minute Pour ce faire, à l'entrée du bloc BPH-1, à l'aide de réducteurs sur cylindres, la pression d'argon, d'hydrogène, d'air est réglée à 0,5 ; 0,14 ; 0,25 MPa (5 ; 1,4 ; 2,5 kgf/cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) ) respectivement. Les débits nécessaires d'argon, d'hydrogène et d'air sont réglés avec des boutons situés sur le panneau avant de l'unité. La mesure des débits de gaz est effectuée à l'aide d'un débitmètre à mousse de savon. Le débitmètre à mousse de savon est assemblé à partir de pièces et d'accessoires dont un ensemble (burette, supports, supports, tubes, etc.) est disponible dans le kit de pièces de rechange du thermostat à colonne chromatographique. Le débitmètre est monté sur le côté gauche du thermostat et une solution savonneuse y est versée. Lors de la mesure du débit d'hydrogène et d'air, le débitmètre est connecté aux conduites de gaz directement devant la cellule du détecteur de flamme à ionisation, lors de la mesure du débit d'argon - à la vanne 3 (Fig. 1). En même temps, les vannes 1 et 2 du système de séchage (Fig. 5), la vanne 7 du système de vide d'entrée (Fig. 4) et la vanne 3 (Fig. 1) doivent être ouvertes. La vanne 3 du système de séchage (Fig. 5), les vannes 6, 8 du système d'aspiration du vide (Fig. 4) et la vanne 4 (Fig. 1) doivent être fermées.

Lors de la détermination du débit de gaz, le temps est enregistré GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) min, pendant laquelle le film de savon est déplacé par le gaz d'un certain volume GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) . Consommation de gaz GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) / min, calculé par la formule

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) . (une)


Potentiomètre automatique KSP-4 selon GOST ED1 7164−78.

Exemple de vacuomètre selon GOST 6521–72 .

Pompe à vide VN-461 M ou similaire.

Les échelles sont analytiques.

Torche portative pour banc de soudure du verre.

Chronomètre selon GOST 5072–79 .
_______________
* Le document n'est pas valable sur le territoire de la Fédération de Russie. Voir le lien pour plus d'informations. — Note du fabricant de la base de données.

Argon grade VCh selon GOST 10157–79 dans un cylindre.

Hydrogène technique selon GOST 3022–80 dans un ballon.

Ballon à gaz réducteur DKP-1−65, 2 pcs.

Ballon à gaz réducteur DVP-1−65.

Vase Dewar.

Azote liquide selon GOST 9293–74 .

Alcool éthylique technique rectifié conformément à GOST 18300–87 .


Ampoules en verre de molybdène avec robinets en verre et PTFE d'une capacité de 50 à 100 cm3 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) (Fig. 7).

Merde.7. Ampoule avec robinet en verre et fluoroplaste (verre de molybdène)

Ampoule avec robinet en verre et fluoroplaste (verre de molybdène)

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)


GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) - sortie latérale de la grue


Merde.7



Chlorure de méthylène selon GOST 9968–86 , marque A.

Le tétrachlorure de carbone.

Chloroforme selon GOST 20015–74 *.
______________
* Le document n'est pas valable sur le territoire de la Fédération de Russie. GOST 20015–88 est en vigueur. — Note du fabricant de la base de données.


Chlorure d'éthyle selon GOST 2769–78 *, grade A.
______________
* Le document n'est pas valable sur le territoire de la Fédération de Russie. GOST 2769–92 est en vigueur. — Note du fabricant de la base de données.

Butane, chimiquement pur

Isobutane, chimiquement pur

Chlorure de méthyle avec une fraction massique du composant principal d'au moins 99 %.

Méthyldichlorosilane avec une fraction massique du composant principal d'au moins 99 %.

Méthyltrichlorosilane avec une fraction massique du composant principal d'au moins 99 %.

Chlorométhylméthylsilane avec une fraction massique du composant principal d'au moins 99 %.

Trichlorosilane avec une fraction massique du composant principal d'au moins 99,999 %.

Trichlorosilane avec une fraction massique de chlorure de méthylène d'au plus 1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) %.

(Édition modifiée, Rev. N 1).

3. PREPARATION POUR L'ANALYSE

3.1. Détermination de la portion de l'échantillon à analyser

L'échantillonnage partiel pour analyse est effectué dans une ampoule en verre de molybdène avec un robinet en verre et en fluoroplastique (Fig. 7), d'un volume de 50 à 100 cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) . Pour ce faire, l'ampoule est mise sous vide jusqu'à une pression résiduelle de 10 Pa (7,5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) mmHg.). Puis à la branche latérale GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) robinets d'ampoule (voir dessin 7) souder un tube de verre de molybdène. L'extrémité libre du tube est immergée dans un récipient contenant du trichlorosilane et le robinet de l'ampoule est ouvert. Dans ce cas, l'échantillon est aspiré dans une ampoule sous vide. Après cela, la vanne est fermée et le trichlorosilane restant dans la sortie latérale de la vanne est éliminé par dépression.

L'ampoule avec l'échantillon est soudée au système d'entrée de vide en position verticale avec la valve vers le bas.

3.2. Préparation de l'échantillon de référence

L'échantillon de référence est préparé dans une ampoule en verre de molybdène avec un robinet en verre et fluoroplastique en mélangeant du trichlorosilane ne contenant pas plus de 1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) % de chlorure de méthylène, avec du chlorure de méthylène.

A cet effet, l'ampoule est pompée avec une pompe à vide jusqu'à une pression résiduelle de 10 Pa (7,5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) mm Hg) et fermer le robinet de l'ampoule. L'ampoule est déconnectée de la pompe et sa masse est déterminée sur une balance analytique ( GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , G). Dans la sortie latérale de la grue ( GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , dev.7) verser environ 0,5 cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) chlorure de méthylène et en ouvrant brièvement le robinet, introduisez-le dans l'ampoule en une quantité de 0,02 à 0,05 cm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) (Éviter de faire entrer de l'air dans l'ampoule).

Le chlorure de méthylène restant dans la sortie latérale du robinet est drainé et éliminé par aspiration. Peser l'ampoule avec du chlorure de méthylène introduit dedans ( GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , G).

Le chlorure de méthylène dans une ampoule est congelé avec de l'azote liquide. Le robinet latéral du robinet à ampoule est abaissé dans un récipient contenant du trichlorosilane. Le robinet est ouvert et l'ampoule est remplie de trichlorosilane. La vanne est fermée et le trichlorosilane de la sortie latérale est éliminé par dépression. L'ampoule avec le mélange est pesée ( GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , G). Fraction massique de chlorure de méthylène dans le mélange ( GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) ) en pourcentage est calculé par la formule

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) . (2)


L'ampoule avec l'échantillon de référence est soudée au système d'évent sous vide (Fig. 4) en position verticale avec la valve vers le bas. L'échantillon de comparaison est valable pour une durée illimitée (jusqu'à épuisement complet).

3.3. Régénération du système de séchage du gaz vecteur

Pour la régénération, le système de séchage du gaz porteur avec une vanne 3 (Fig. 5) est relié à une pompe à vide et plongé dans une cuve d'eau tiède (50-60°C). La vanne 3 est ouverte et le système est évacué à une pression résiduelle de 10 Pa (7,5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) mmHg.). Après cela, le robinet 3 est fermé, le système est sorti de l'eau et déconnecté de la pompe à vide. La régénération du système de séchage du gaz vecteur est effectuée au début de chaque quart de travail.

3.4. Comment allumer l'unité chromatographique

Avant d'allumer les blocs de l'appareil, le système de séchage du gaz vecteur est placé dans des vapeurs d'azote liquide versées dans un vase Dewar, et des flux d'argon, d'hydrogène et d'air sont établis. Pour ce faire, les cylindres sont ouverts et les réducteurs de pression à l'entrée de l'unité BPH-1 (Fig. 1) sont réglés sur les pressions indiquées au paragraphe 2. Ensuite, les vannes 1 et 2 du système de séchage sont ouvertes séquentiellement (Fig. . 5), la vanne 7 du système de mise à vide (Fig. 4 ) et la grue 4 (Fig. 1). Les vannes 5, 6, 8, 10 du système d'aspiration du vide (Fig. 4), la vanne 3 (Fig. 1) doivent être fermées.

Les unités de l'appareil sont allumées dans l'ordre suivant : contrôleurs de température des thermostats RT-09 et RT-17 17 et 16 (Fig. 1) (la température dans le thermostat du détecteur doit être de 150 °C), bloc d'alimentation pour le détecteur de flamme à ionisation BPD-19 5 (Fig. 1), petit ampèremètre IMT-05 7 (Fig. 1), bloc d'alimentation pour détecteur de conductivité thermique BPK-20 18 (Fig. 1) (le courant du pont du détecteur doit être 100 mA) et potentiomètres automatiques KSP-4 (8 et 19 sur hell.1).

Une fois les blocs allumés, une flamme est allumée dans le détecteur de flamme à ionisation. L'allumage de la flamme s'effectue en appuyant sur le bouton « allumage de la flamme » situé sur la paroi latérale du thermostat colonne. Un pop léger dans le détecteur indique l'allumage de la flamme. Vous pouvez vérifier la présence d'une flamme en embrumant un miroir ou un objet métallique poli amené au raccord de sortie du détecteur.

Installez ensuite le piège cryogénique 10 (Fig.1) et allumez la pompe à vide 11 (Fig.1).

3.5. Régénération de colonne chromatographique

Pour une nouvelle colonne chromatographique, une préparation spéciale est effectuée avant l'analyse. A cet effet, les débits d'argon et d'air sont réglés conformément au paragraphe 3.4 (le système de séchage doit être régénéré conformément au paragraphe 3.3), mais la vanne 4 (Fig. 1) est laissée fermée. Les régulateurs de température du thermostat détecteur 17 (Fig. 1) et du thermostat de la colonne chromatographique 16 (Fig. 1) sont activés. Dans ce cas, la température dans le thermostat du détecteur est réglée égale à (150 ± 1) °С, et dans le thermostat de la colonne chromatographique (200 ± 1) °С. Dans ces conditions, la colonne chromatographique est maintenue pendant 4 à 5 heures, puis la vanne 3 (Fig. 1) est fermée, la température dans le thermostat de la colonne chromatographique est réduite à (120 ± 1) °C et la colonne est purgé à l'argon pendant 7 à 8 heures.

4. CONDUITE DE L'ANALYSE

4.1. Après préparation de l'installation conformément aux paragraphes 3.3 et 3.5, l'installation chromatographique est amenée au mode de fonctionnement suivant :

température du four à colonne chromatographique
(27±1) °С
température du thermostat du détecteur de conductivité thermique
(150±1) °С
température de l'évaporateur
(50±1)° С
courant d'alimentation du détecteur de conductivité thermique
(100±10) mA
consommation de gaz vecteur (argon)

(35±2) centimètres GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) /minute

consommation d'hydrogène

(30±2) centimètres GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) /minute

flux d'air

(300±20) centimètres GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) /minute

vitesse d'avance du ruban des potentiomètres automatiques 600 mm/h

4.2. Pour entrer dans l'échantillon, les vannes 5 et 10 sont ouvertes (Fig. 4). Après avoir atteint une pression de 10 Pa (7,5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) mm Hg) la vanne 5 (Fig. 4) est fermée. En ouvrant légèrement la valve sur l'ampoule avec l'échantillon analysé 1 (Fig. 4) dans le vacuomètre 2 (Fig. 4), la pression est réglée à 50 000 Pa (375 mm Hg). Fermer le robinet 10 (Fig. 4) qui coupe le volume de dosage. Ouvrez le robinet 8 (Fig. 4), puis fermez simultanément le robinet 7 et ouvrez le robinet 6 (Fig. 4) et mettez immédiatement le chronomètre en marche. Après ces étapes, l'échantillon analytique est introduit dans la colonne chromatographique et l'enregistrement du chromatogramme commence. Ci-dessous, les mots "enregistrement d'un chromatogramme", sauf clause particulière, signifient l'enregistrement simultané d'un chromatogramme sur un potentiomètre automatique 8 (Fig. 1) relié à un détecteur de flamme à ionisation et sur un potentiomètre automatique 19 (Fig. 1) connecté à un détecteur de conductivité thermique .

Lors du processus d'enregistrement d'un chromatogramme, le temps de rétention réel y est enregistré (le temps à partir du moment où l'échantillon analytique est introduit dans la colonne chromatographique jusqu'à ce que le maximum du pic chromatographique correspondant émerge) et l'indicateur d'échelle du potentiomètre IMT-05 à lequel ce pic est enregistré sur le chromatogramme.

4.3. L'enregistrement de chaque pic sur le chromatogramme doit être effectué dans une telle position du commutateur de potentiomètre IMT-05 7 (Fig. 1), qui garantit que le pic est enregistré dans la plage optimale de l'échelle de potentiomètre automatique KSP-4.

A cet effet, le premier échantillon est utilisé pour enregistrer un chromatogramme préliminaire. Avec cet enregistrement, pour chaque pic chromatographique, une telle position du commutateur du potentiomètre IMT-05 est sélectionnée, à laquelle la hauteur du pic chromatographique est de 40 à 100% de l'échelle du potentiomètre automatique KSP-4.

4.4. En raison du fait que la pénétration d'une grande quantité de trichlorosilane dans le détecteur de flamme à ionisation aggrave la stabilité de son fonctionnement, la partie principale de la bande de trichlorosilane doit être détournée au-delà du détecteur de flamme à ionisation en commutant les robinets 3 et 4 (Fig. . 1). Le temps de sortie du trichlorosilane - le moment des prises de commutation - est déterminé à l'aide d'un détecteur de conductivité thermique et d'un potentiomètre automatique 19 (Fig. 1). Les vannes sont commutées lorsque le pic correspondant au trichlorosilane commence à être enregistré sur le potentiomètre automatique 19 (Fig. 1). Une fois que ce potentiomètre automatique a fini d'enregistrer le pic de trichlorosilane, les vannes 3 et 4 (Fig. 1) sont commutées dans le sens opposé.

4.5. Après avoir enregistré le chromatogramme préliminaire, les robinets sont remis dans les positions indiquées au paragraphe 3.4 et, en répétant les opérations décrites au paragraphe 4.2, un autre échantillon d'échantillon est introduit et le chromatogramme est enregistré. Ensuite, deux autres portions d'échantillon sont injectées séquentiellement et un chromatogramme est enregistré pour chacune. Les trois chromatogrammes enregistrés après le préliminaire sont utilisés, comme indiqué ci-dessous, pour obtenir les premier, deuxième et troisième résultats de déterminations parallèles - la fraction massique de chacun des composants analysés dans l'échantillon.

4.6. Enregistrez ensuite les chromatogrammes de l'échantillon de référence. A cet effet, les vannes sont ramenées dans les positions indiquées au paragraphe 3.4, et les vannes 5 et 10 sont ouvertes (Fig. 4). L'introduction du matériau de l'échantillon de référence dans la colonne chromatographique et l'enregistrement du chromatogramme de l'échantillon de référence sont effectués de la même manière que l'introduction d'un échantillon analytique de l'échantillon analysé et l'enregistrement de son chromatogramme (clauses 4.2 ; 4.3 ; 4.4), mais dans ce cas, après que la pression dans le système de vide ait atteint 10 Pa ( 7,5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) mm Hg) et la valve 5 est fermée (Fig. 4), la valve de l'ampoule avec l'échantillon de comparaison 4 est légèrement ouverte (Fig. 4). Dans ce cas, la pression dans le système de vide de l'entrée doit être réglée sur 50 000 Pa (375 mm Hg).

Obtenir d'abord un chromatogramme préliminaire de l'échantillon de référence, comme indiqué au paragraphe 4.3, puis trois autres chromatogrammes.

Les trois chromatogrammes de l'échantillon de référence, enregistrés après le préliminaire, sont utilisés dans le traitement des résultats, comme indiqué au paragraphe 5.2.

4.7. Pour l'identification (détermination de la substance qui donne chaque pic), il est nécessaire de connaître le temps de rétention d'oxygène. A cet effet, un chromatogramme de l'échantillon d'air est enregistré.

Dans ce cas, les vannes de l'installation chromatographique sont ramenées dans les positions indiquées au paragraphe 3.4, les vannes 5 et 10 sont ouvertes (Fig. 4). Après avoir atteint une pression dans le système de vide de 10 Pa (7,5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) mm Hg) la vanne 5 (Fig. 4) est fermée, retirée de la sortie latérale GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) vanne 5 (Fig. 4) tuyau de vide menant à la pompe à vide, et en ouvrant la vanne 5 (Fig. 4), de l'air est introduit dans le système de vide. La vanne 5 (Fig. 4) est fermée, un tuyau d'aspiration est placé dessus. Puis la vanne 10 est fermée (Fig. 4), l'échantillon d'air selon le paragraphe 4.2 est introduit dans la colonne chromatographique et le chromatogramme est enregistré. Seul le pic correspondant à l'oxygène est enregistré.

5. TRAITEMENT DES RÉSULTATS

5.1. L'identification des pics chromatographiques est réalisée en comparant les temps de rétention relatifs obtenus expérimentalement avec des valeurs tabulaires (tableau 1). La valeur expérimentale du temps de rétention relatif ( GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) ) pour chacun des composants à déterminer est calculé par la formule

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , (3)


GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) est le temps de rétention du composant trouvé à partir du chromatogramme obtenu avec un détecteur à flamme à ionisation, s ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) est le temps de rétention du trichlorosilane, trouvé à partir du chromatogramme obtenu avec un détecteur à conductivité thermique, s ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) est le temps de rétention d'oxygène trouvé à partir du chromatogramme obtenu avec un détecteur à flamme à ionisation, s ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) est le temps de rétention d'oxygène trouvé à partir du chromatogramme obtenu avec un détecteur à conductivité thermique, s.


Tableau 1

Substance
Temps de rétention relatif
chlorure de méthyle
0,21±0,01
Isobutane
0,27±0,01
Butane
0,39±0,01
Chlorure d'éthyle
0,55±0,01
Chlorométhylméthylsilane
0,85+0,01
Trichlorosilane
1,00±0,02
Méthyldichlorosilane
1,21±0,02
le chlorure de méthylène
1,33±0,03
Méthyltrichlorosilane
2,78±0,05
Chloroforme
3,71+0,05
le tétrachlorure de carbone
5.0±0.1

5.2. Fraction massique GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) -ème composant ( GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) ) dans l'échantillon en pourcentage (chacun des trois résultats de déterminations parallèles) est calculé par la formule

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , (quatre)


GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) — coefficient de sensibilité relative pour GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) -ième composante (tableau 2), valeur sans dimension ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) est l'aire du pic chromatographique GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) -ème composante sur le chromatogramme, mm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , trouvé à partir de l'un des trois chromatogrammes obtenus avec un détecteur à flamme à ionisation ;

ici GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) est la hauteur (mm) de ce pic chromatographique ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) est la largeur (mm) de ce pic à mi-hauteur ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) est l'aire du pic chromatographique (mm GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) ) chlorure de méthylène dans l'échantillon de référence, calculé comme la moyenne arithmétique de trois valeurs GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) trouvé à partir de trois chromatogrammes de l'échantillon de référence, obtenus avec un détecteur à flamme à ionisation ;

ici GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) — hauteur (mm) ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) - largeur à mi-hauteur (mm) du pic chromatographique du chlorure de méthylène, mesurée pour l'un des trois chromatogrammes ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) - fraction massique de chlorure de méthylène dans l'échantillon de référence (clause 3.2) en pourcentage ;

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) , GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) - indicateurs de l'échelle du potentiomètre IMT-05 (par exemple, 100 pour une échelle de 100 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) Et pour GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) -ème composant (clause 4.8) et chlorure de méthylène (clause 4.6), respectivement, valeurs sans dimension.

Résultats d'analyse GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) en pourcentage est calculé comme la moyenne arithmétique de trois résultats de déterminations parallèles

GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) . (5)


Tableau 2


Valeurs des coefficients de sensibilité relative (RCF)

Substance KOCH
chlorure de méthyle
0,71
Isobutane
9.5
Butane
9.2
Chlorure d'éthyle
4.5
Chlorométhylméthylsilane
2.0
Méthyldichlorosilane
0,73
le chlorure de méthylène
1.0
Méthyltrichlorosilane
0,48
Chloroforme
0,57
le tétrachlorure de carbone
0,34



5.3. La différence entre le plus grand et le plus petit des trois résultats de déterminations parallèles avec une probabilité de confiance GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1) 0,95 ne doit pas dépasser les valeurs des écarts absolus admissibles indiquées dans le tableau 3.

Tableau 3

Composant défini Fraction massique du composant, % Écart absolu admissible, %
chlorure de méthyle

3 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1,9 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2,7 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

8−10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

3,6 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

4,0 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1.3 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2.3 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2.1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2.1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2.1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

une

2.1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

Isobutane

1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

6,7 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1.2 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2.2 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

7 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2,5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2,8 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

5 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1.3 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

1 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)

2.4 10 GOST 26239.9-84 Trichlorosilane. Méthode de dosage du chlorure de méthyle, chlorure d'éthyle, butane, isobutane, chlorure de méthylène, chloroforme, tétrachlorure de carbone, méthyldichlorosilane, méthyltrichlorosilane, chlorométhylméthylsilane (avec modification n° 1)